发明名称 Scanning charged beam particle beam microscope
摘要
申请公布号 USRE29500(E) 申请公布日期 1977.12.20
申请号 US19760710420 申请日期 1976.08.02
申请人 发明人
分类号 G21K1/02;H01J37/04;H01J37/05;H01J37/244;H01J37/28 主分类号 G21K1/02
代理机构 代理人
主权项
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