| 发明名称 |
WERKWIJZE EN INRICHTING VOOR HET UITRICHTEN VAN EEN I.C.-PATROON TEN OPZICHTE VAN EEN HALFGELEI- DEND SUBSTRAAT. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL7606548(A) |
申请公布日期 |
1977.12.20 |
| 申请号 |
NL19760006548 |
申请日期 |
1976.06.17 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L21/30;G02B27/18;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G01B19/56;G02B27/38;G03B15/00;H01L21/70 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
