发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52152179(A) 申请公布日期 1977.12.17
申请号 JP19760070002 申请日期 1976.06.14
申请人 NIPPON DENSO CO 发明人 YOKOMORI IWAO
分类号 H01L29/73;H01L21/31;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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