| 发明名称 |
PROTECTING METHOD OF WIRING LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52151567(A) |
申请公布日期 |
1977.12.16 |
| 申请号 |
JP19760067723 |
申请日期 |
1976.06.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NISHIDA KIYOO;TSUBOSAKI KUNIHIRO |
| 分类号 |
H05K3/28;H01L21/283;H01L21/31;H01L21/768;H01L23/522;H01L49/02 |
主分类号 |
H05K3/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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