具有表面纹路之抛光垫及其制造方法与制造装置

摘要

本发明系关于一种具有表面纹路之抛光垫及其制造方法，该制造方法包括以下步骤：(a)提供一基材，该基材具有一用于抛光一待抛光物件之表面；(b)提供一可自由移动之高能量激光；及(c)利用该高能量激光于该基材之该表面上形成一表面纹路。藉此，所制成之抛光垫不会产生毛边或变形之情况，在使用时可以让研磨浆液保持良好的流动，而不会刮伤待抛光物件。此外，以高能量激光之方式可以快速而正确地制造出所需之表面纹路，而且再现性极高。