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发明名称 MAKING METHOD OF ETCHING MASK
摘要
申请公布号 JPS52150976(A) 申请公布日期 1977.12.15
申请号 JP19760067904 申请日期 1976.06.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUEHIRO KAZUTO;KINOSHITA SHIGEJI;NAGATA KAZUSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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