| 主权项 |
1.一种用于一旋转抛光器之圆形抛光垫,其包含 a.具有一用于抛光一工件之面外的工作表面以及 一开口的第一层;以及 b.一第二层,其中至少一部分之该第二层包含一至 少部分透明的窗,其中该窗系实质上以该第一表面 之厚度和该工作表面间隔开来以及其中该第一层 系至少部分连接至该第二层,且其中该第一层包含 至少一种以下之性质: i)以该第一层之总重为基准,该第一层吸收至少2重 量百分比的抛光浆液; ii)以该第一层之总体积为基准,该第一层具有至少 2体积百分比之孔隙度; iii)该第一层具有大于该第二层之压缩体积百分比 。 2.如申请专利范围第1项之抛光垫,其中以该第一层 之总重为基准,该第一层吸收至少4重量%且少于50 重量%之抛光浆液。 3.如申请专利范围第1项之抛光垫,其中该第一层系 选自于颗粒性聚合物及交联聚合物黏合剂;颗粒性 聚合物及有机聚合物黏合剂;热塑性树脂的经烧结 颗粒; 热塑性聚合物之加压烧结粉末压紧物;利用多数聚 合物微元件浸渍的聚合物基质,其中每一聚合物微 元件内可具有一空隙空间;或其等之组合物。 4.如申请专利范围第1项之抛光垫,其中该第一层的 厚度为至少0.020英寸且小于0.150英寸。 5.如申请专利范围第1项之抛光垫,其中该第二层系 选自于实质上体积不可压缩的聚合物及金属薄膜 及金属箔。 6.如申请专利范围第1项之抛光垫,其中该第二层系 选自于聚烯烃、以纤维素为主的聚合物、丙烯酸 酯类、聚酯或共聚酯、聚碳酸酯、聚醯胺、高性 能塑胶或其等之混合物。 7.如申请专利范围第7项之抛光垫,其中该第二层系 选自于低密度聚乙烯、高密度聚乙烯、超高分子 量聚乙烯或聚丙烯、纤维素乙酸酯或纤维素丁酸 酯、PET或PETG、耐纶6/6或耐纶6/12、聚醚醚酮、聚 苯氧、聚、聚醯亚胺、聚醚醯亚胺或其等混合 物。 8.如申请专利范围第1项之抛光垫,其中该第二层的 厚度为至少0.0005英寸且该第二层的厚度为小于0. 0650英寸。 9.如申请专利范围第1项之抛光垫,其中该第一层及 该第二层系至少部分地藉由一黏着剂材料来连接 。 10.如申请专利范围第9项之抛光垫,其中该黏着剂 材料系选自于接触性黏着剂、压感性黏着剂、结 构黏着剂、热熔黏着剂、热塑性黏着剂,以及可固 化黏着剂、热固性黏着剂及其等之组合。 11.如申请专利范围第1项之抛光垫,其进一步包含 一第三层,该第三层系至少部分地连接至该第二层 ,该第三层具有一开口。 12.如申请专利范围第11项之抛光垫,其中该第三层 系选自于天然橡胶、合成橡胶、热塑性弹性体、 发泡体片材及其等之组合。 13.如申请专利范围第11项之抛光垫,其中该第三层 的厚度为至少0.04英寸且该第三层的厚度为0.100英 寸或更少。 14.如申请专利范围第11项之抛光垫,其中该第一、 第二及第三层系至少部分地藉由一黏着剂材料来 连接。 15.如申请专利范围第11项之抛光垫,其中该第一层 的开口、该第二层的窗,以及该第三层的开口系至 少部分对齐。 16.如申请专利范围第1项之抛光垫,其中当施与20 psi之载荷时,该第一层的压缩体积百分比为至少0.3 百分比。 17.如申请专利范围第1项之抛光垫,其中当施与20 psi之载荷时,该第一层的压缩体积百分比为3百分 比或更低。 18.一种用于一抛光器之抛光垫,其包含 a.具有一用于抛光一工件之面外的工作表面以及 一开口的第一层;以及 b.一第二层,其中至少一部分之该第二层包含一至 少部分透明的窗,其中该窗系实质上以该第一表面 之厚度和该工作表面间隔开来且其中该第一层系 至少部分连接至该第二层,且其中该第一层包含至 少一种以下之性质: i)以该第一层之总重为基准,该第一层吸收至少4重 量百分比的抛光浆液; ii)以该第一层之总体积为基准,该第一层具有至少 2体积百分比之孔隙度; iii)该第一层具有大于该第二层之压缩体积百分比 。 19.一种旋转抛光垫,其包含 a.具有一开口的第一层;以及 b.一第二层,其中至少一部分之该第二层包含一至 少部分透明的窗, c.一具有一开口之第三层,其中该第一层系至少部 分连接至该第二层且该第二层系至少部分连接至 该第三层,其中该窗系实质上以该第一表面之厚度 和该工作表面间隔开来,且其中该第一层包含至少 一种以下之性质: i)以该第一层之总重为基准,该第一层吸收至少2重 量百分比的抛光浆液; ii)以该第一层之总体积为基准,该第一层具有至少 2体积百分比之孔隙度; iii)该第一层具有大于该第二层之压缩体积百分比 iv)该第三层系比该第一层为软。 |
