发明名称 FORMING METHOD OF ELECTRODE PATTERNS
摘要
申请公布号 JPS52149982(A) 申请公布日期 1977.12.13
申请号 JP19760067482 申请日期 1976.06.09
申请人 SONY CORP 发明人 SUZUKI NORIO;NAGAKUBO YOSHIO;KOJIMA AKIRA
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/31;H01L21/331;H01L29/40;H01L29/73 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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