发明名称 |
FORMING METHOD OF ELECTRODE PATTERNS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS52149982(A) |
申请公布日期 |
1977.12.13 |
申请号 |
JP19760067482 |
申请日期 |
1976.06.09 |
申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
SUZUKI NORIO;NAGAKUBO YOSHIO;KOJIMA AKIRA |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/31;H01L21/331;H01L29/40;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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