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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS52149991(A) 申请公布日期 1977.12.13
申请号 JP19760067461 申请日期 1976.06.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OONO KENICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52;H01L27/118 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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