基板处理方法及基板处理装置

摘要

在本发明之基板处理方法中,对基板加热,并对该基板之表面供给被赋予超音波振动的抗蚀剂剥离液。又,另一方面,使基板围绕与其表面交叉之轴线旋转。利用此种方式,供给到基板之表面的抗蚀剂剥离液受到旋转之离心力,在基板之表面上朝向周缘流动。其结果是在被加热之基板之表面的全体区域,被赋予超音波振动的抗蚀剂剥离液均匀地扩散。当被赋予超音振动的抗蚀剂剥离液供给到基板之表面时,形成在基板之表面上的抗蚀剂之硬化层,由于超音波振动之物理能量而被破坏。