| 发明名称 |
PROCEDE DE RETRAIT SELECTIF DE SILICE PORTEE PAR UN SUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2350937(A1) |
申请公布日期 |
1977.12.09 |
| 申请号 |
FR19770014786 |
申请日期 |
1977.05.13 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL PLASMA CORP |
发明人 |
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| 分类号 |
C01B33/12;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):B28D5/06;H01L21/30 |
主分类号 |
C01B33/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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