制程装置及制程方法

摘要

本发明揭示一种制程装置，其包含：一容器3，其包含复数个待处理之物件w，该容器包括形成于其一前表面而用于取出待处理之物件w之一出口埠3a、与用于密封该出口埠3a之一盖子3b；一装载区域Sa，该容器3系装载于其中；一运送区域Sb，其大气不同于该装载区域Sa中的大气；一分隔壁6，其使该装载区域Sa与该运送区域Sb彼此分离并具有一开口13；一门14，其用于开启与关闭该分隔壁6中的开口13；以及一台10，其用于将该容器3置于该装载区域Sa中接近开口13之一位置。在该容器3的前表面之一侧上的相反侧上，具有待按压之部分20。该分隔壁6具有一按压与固持机构23，其具有一压辊22，其系从一横向登上该容器3的待按压之部分20，以对着该分隔壁6中的开口13按压该容器3，并将该容器3紧密地固持于适当位置。