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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52147968(A) 申请公布日期 1977.12.08
申请号 JP19760055841 申请日期 1976.05.14
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA KUNIO;KAMOSHITA MOTOTAKA
分类号 H01L21/265;H01L21/283 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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