发明名称 SPATTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52147976(A) 申请公布日期 1977.12.08
申请号 JP19760065186 申请日期 1976.06.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KICHI KENZOU;YAMAZAKI OSAMU;SETSUNE KENTAROU;WASA KIYOTAKA
分类号 C23C14/34;C23C14/38;H01L21/203;H01L21/302 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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