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发明名称
SPATTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS52147976(A)
申请公布日期
1977.12.08
申请号
JP19760065186
申请日期
1976.06.03
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KICHI KENZOU;YAMAZAKI OSAMU;SETSUNE KENTAROU;WASA KIYOTAKA
分类号
C23C14/34;C23C14/38;H01L21/203;H01L21/302
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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