发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52147989(A) 申请公布日期 1977.12.08
申请号 JP19760065451 申请日期 1976.06.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAMOTO SHIGEJI;INOUE OSAMU
分类号 H01L27/04;H01L21/265;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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