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发明名称 FORMATION OF ETCHING MASK
摘要
申请公布号 JPS52147975(A) 申请公布日期 1977.12.08
申请号 JP19760064896 申请日期 1976.06.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MATSUI HAJIME;EMOTO HIROAKI
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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