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发明名称
摘要
申请公布号 JPS52162222(U) 申请公布日期 1977.12.08
申请号 JP19760071326U 申请日期 1976.06.01
申请人 发明人
分类号 H01J37/32;C23C8/36;F27D11/02;F27D11/08;H05B7/16;(IPC1-7):C23C11/14;C23C11/00 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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