发明名称 PROCESS FOR THINNING SILICON WITH SPECIAL APPLICATION TO PRODUCING SILICON ON INSULATOR
摘要
申请公布号 GB1494328(A) 申请公布日期 1977.12.07
申请号 GB19740052467 申请日期 1974.12.04
申请人 TEXAS INSTR INC 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/306;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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