衬底加工设备，衬底加工设备管理系统和衬底加工设备管理方法

摘要

一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。

主权项

1.一种衬底加工设备管理系统，经网络使衬底加工设备和支持计算机互连，其中所述支持计算机包括：a-1)第一存储部件，存储所述衬底加工设备初始化所必须的基本信息，和a-2)基本信息发送部件，将所述基本信息经所述网络发送到所述衬底加工设备，所述衬底加工设备包括：b-1)第二存储部件，存储从所述支持计算机收到的所述基本信息，和所述衬底加工设备的初始化状态安装有存储在所述第二存储部件中的所述基本信息。