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发明名称 PRODUCTION OF EXTRAAHIGHHFREQUENCY INTEGRATED CIRCUIT SUBSTRATES
摘要
申请公布号 JPS52146564(A) 申请公布日期 1977.12.06
申请号 JP19760063238 申请日期 1976.05.31
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YAMAGUCHI SHIYOUJI
分类号 H01L23/12;H01L21/48 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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