发明名称 SURFACE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS52146682(A) 申请公布日期 1977.12.06
申请号 JP19770061313 申请日期 1977.05.27
申请人 FERRANTI LTD 发明人 GURAHAMU MOORI KURAAKU
分类号 G01N21/57;G01N21/89;G01N21/892 主分类号 G01N21/57
代理机构 代理人
主权项
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