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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS52146575(A)
申请公布日期
1977.12.06
申请号
JP19760063240
申请日期
1976.05.31
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
SATOU KAZUO;UENO SABUHIRO
分类号
H01L27/092;H01L21/8238;H01L29/78
主分类号
H01L27/092
代理机构
代理人
主权项
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