| 发明名称 |
PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52144287(A) |
申请公布日期 |
1977.12.01 |
| 申请号 |
JP19760060611 |
申请日期 |
1976.05.27 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
SATOU KAZUO;TOUKON HIDEO |
| 分类号 |
H01L27/092;H01L21/265;H01L21/76;H01L21/8238;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L27/092 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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