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发明名称
FORMING METHOD OF ELECTRODE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS52144273(A)
申请公布日期
1977.12.01
申请号
JP19760061504
申请日期
1976.05.27
申请人
FUJITSU LTD
发明人
YAMAMOTO TAKASHI;KASHIMADA HIDEO
分类号
H01L21/768;H01L21/28
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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