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发明名称 MEASURING METHOD AND DEVICE OF VOID DISTRIBUTION
摘要
申请公布号 JPS52144595(A) 申请公布日期 1977.12.01
申请号 JP19760061256 申请日期 1976.05.28
申请人 NIPPON ATOMIC IND GROUP CO;TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 NAITOU NORIO;ANDOU YASUMASA
分类号 G01P5/22;G21C17/02;G21C17/038 主分类号 G01P5/22
代理机构 代理人
主权项
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