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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING DEFECTS IN PHOTOMASKS
摘要
申请公布号
GB1493861(A)
申请公布日期
1977.11.30
申请号
GB19750004688
申请日期
1975.02.04
申请人
WESTERN ELECTRIC CO INC
发明人
分类号
H01L21/027;G01B11/00;G01B11/24;G01B11/245;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;G02B27/46;H01L21/30;H01L21/66;(IPC1-7):G01M11/02
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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