压力式流量控制装置

摘要

明系提供在压力式流量控制装置之流体流量控制下，可谋求大幅度缩短流量切换时之下降响应时间，并且提高下降响应特性之压力式流量控制装置。

主权项

一种压力式流量控制装置，具备：本体，其设置有连通流体入口和流体出口之间的流体流路，和从该流体流路分歧而连通该流体通路和排气出口之间的排气通路；压力控制用控制阀，其被固定在上述本体之流体入口侧而开关上述流体通路之上游侧；压力感测器，其系检测出上述压力控制用控制阀之下游侧之流体通路内压；孔口，其设置在较上述排气通路之分歧处下游的流体通路内；及排气控制用控制阀，其系开关上述排气通路。