低表面外形变形的光学元件

摘要

明揭示一种具有一主体的反射光学元件，该主体具有一高精度几何形状的一第一反射表面，用于一EUV微影投射曝光系统中，反射波长范围小于50 nm的光。该主体包含一第一及一第二非反射表面。此外，该主体包含在该第一非反射表面上形成的一单一连接区域，其具有至少一个固定表面在该连接区域内部，用于将该整个光学元件直接或间接固定至一承载元件的至少一个承载表面。另外，该第二非反射表面与在该第一非反射表面上形成的该单一连接区域不同，及该第二非反射表面至少部分地围绕该单一连接区域。此外，在该主体中形成至少一个应力释放凹处，其中该应力释放凹处使该第一非反射表面与该第二非反射表面至少部分地分离。

主权项

一种反射光学元件，包含：一主体，具有一高精度几何形状的一第一反射表面，用于一EUV微影投射曝光系统中，反射波长范围小于50nm的光；其中该主体包含：一第一及一第二非反射表面；一单一连接区域，形成于该第一非反射表面上，具有至少一固定表面在该连接区域内部，用于将该整个光学元件直接或间接固定于一承载元件的至少一承载表面；其中该第二非反射表面与在该第一非反射表面上形成的该单一连接区域不同，及其中该第二非反射表面至少部分地围绕该单一连接区域；至少一应力释放形体，形成于该主体中或该主体上，其中该应力释放形体使该第一非反射表面与该第二非反射表面至少部分地分离。