正型感放射线性组成物、层间絶缘膜及其形成方法

摘要

明之目的在于提供一种正型感放射线性组成物，其可形成表面硬度及耐溶剂性优异，透过率及电压保持率亦令人满足的层间绝缘膜，而且保存安定性优异，具有充分的放射线感度。

主权项

一种正型感放射线性组成物，其含有：[A]在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(1)所示之基的结构单元与含环氧基的结构单元之聚合物，[B]酸产生体，及[C]选自由下述式(2)所示的含氮化合物及下述式(3)所示的含氮化合物所组成之群中的至少一种，其中相对于[A]聚合物100质量份，[C]含氮化合物的含量为2质量份以上30质量份以下，

(式(1)中，R1及R2各自独立地系氢原子、烷基、环烷基或芳基，此等烷基、环烷基或芳基的氢原子之一部分或全部可被取代基所取代(惟，没有R1及R2同时为氢原子的情况)；R3系烷基、环烷基、芳烷基、芳基或-M(R3m)3所示的基(M系Si、Ge或Sn，R3m系烷基)，此等氢原子的一部分或全部可被取代基所取代；R1与R3可连接而形成环状醚)，

(式(2)中，R4及R5各自独立地系氢原子、胺基、碳数1~20的烷基或碳数6~20的芳基，此烷基或芳基可含有羟基、羧基、羰基、酯基、磺酸基、醯胺基、醚基、硫醇基、硫醚基、胺基或脒基；R6系碳数1~
20的烷基、碳数4~20的环烷基或碳数6~20的芳基；R4与R5可连接而形成环)，

(式(3)中，R7及R8各自独立地系与上述式(2)的R4同义；R9及R10各自独立地系与上述式(2)的R6同义；A系碳数1~12的烷二基或碳数6~20的伸芳基)。