| 发明名称 |
POLISHING SEMICONDUCTOR SURFACES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1493905(A) |
申请公布日期 |
1977.11.30 |
| 申请号 |
GB19760031056 |
申请日期 |
1976.07.26 |
| 申请人 |
WACKER CHEMITRONIC GES FUER ELEKTRONIK GRUNDSTOFFE MBH |
发明人 |
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| 分类号 |
B24B37/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B24B1/00;C09K3/14 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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