| 摘要 |
본 발명은 CIGS 열처리 셀레늄 공급장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 CIGS 열처리 셀레늄 공급장치는 CIGS 태양전지 제조시, CIGS 열처리 장치 측으로 셀레늄을 공급하는 장치에 있어서, 일단이 상기 CIGS 열처리 장치에 연결되며, 셀레늄 가스가 이동하는 경로인 공급관; 상기 공급관의 일측으로부터 분기되는 분기관; 상기 공급관 상에 설치되어 상기 셀레늄 가스의 상기 CIGS 열처리 장치로의 이동을 차단하는 밸브부; 상기 분기관에 연결되며, 상기 밸브부가 폐쇄시 구동하여 상기 셀레늄 가스를 상기 분기관 측으로 안내하는 펌프부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, CIGS 광흡수층 형성을 위한 CIGS 열처리 장치로 셀레늄 가스를 공급시, 셀레늄 가스의 공급여부를 정밀하게 제어할 수 있는 CIGS 열처리 셀레늄 공급장치 및 공급방법이 제공된다. |
