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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号
JPS52141183(A)
申请公布日期
1977.11.25
申请号
JP19760056678
申请日期
1976.05.19
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
TAKEI SAKAE
分类号
H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
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