发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 JPS52141183(A) 申请公布日期 1977.11.25
申请号 JP19760056678 申请日期 1976.05.19
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TAKEI SAKAE
分类号 H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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