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发明名称
WAFER HOLDER
摘要
申请公布号
JPS52141571(A)
申请公布日期
1977.11.25
申请号
JP19760058607
申请日期
1976.05.20
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
SUGAWA TOSHIO;KONUMA TSUYOSHI
分类号
H01L21/22;H01L21/48
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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