| 发明名称 |
POSITION DETECTOR |
| 摘要 |
PURPOSE:To perform automatically a high-accuracy and high-speed position matching through comparison between the input pattern obtained from the object and the reference pattern. |
| 申请公布号 |
JPS52140278(A) |
申请公布日期 |
1977.11.22 |
| 申请号 |
JP19760056519 |
申请日期 |
1976.05.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MESE MICHIHIRO;KASHIOKA SEIJI;EJIRI SHIYOUIN;MIYATAKE TAKAFUMI;YAMAZAKI ISAMU;HAMADA TOSHIMITSU |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/02;G01D5/249;G05D3/12;G06T1/00;G06T7/00;G06T7/60;H01L21/60;H01L21/68 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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