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发明名称 IMPURITY SUPPORTING JIG
摘要
申请公布号 JPS52139379(A) 申请公布日期 1977.11.21
申请号 JP19760055379 申请日期 1976.05.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 MORII IKUO;YASUDA MASAHIKO
分类号 H01L21/673;H01L21/22;H01L21/68 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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