发明名称 METHOD OF FORMING METAL MEMBRANE
摘要
申请公布号 JPS52138442(A) 申请公布日期 1977.11.18
申请号 JP19760055371 申请日期 1976.05.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 HORI YASUMITSU
分类号 H05K3/14;C23C14/58;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/60;H05K3/10 主分类号 H05K3/14
代理机构 代理人
主权项
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