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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS52137982(A)
申请公布日期
1977.11.17
申请号
JP19760055065
申请日期
1976.05.14
申请人
HITACHI LTD
发明人
SHIMURA TATSUO;ISHIZUKA TAKESHI;SUWA MASATERU;OONUKI HITOSHI
分类号
H01L21/283
主分类号
H01L21/283
代理机构
代理人
主权项
地址
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