发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52136571(A) 申请公布日期 1977.11.15
申请号 JP19760053155 申请日期 1976.05.12
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SHIBATA SUNAO;HORIUCHI SHIGEHARU
分类号 H01L29/78;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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