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摘要
申请公布号
JPH02310370(A)
申请公布日期
1990.12.26
申请号
JP19890129719
申请日期
1989.05.23
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
SATO SHINOBU
分类号
C23C16/34;C23C30/00
主分类号
C23C16/34
代理机构
代理人
主权项
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