发明名称 PROCEDE POUR REALISER L'AJUSTEMENT AUTOMATIQUE DE PASTILLES SEMICONDUCTRICES
摘要
申请公布号 BE857044(A4) 申请公布日期 1977.11.14
申请号 BE19770179551 申请日期 1977.07.22
申请人 SIEMENS A.G. 发明人
分类号 H01L21/30;G03F9/00;G03F9/02;G05D3/12;H01L21/027;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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