| 摘要 |
본 발명의 실시예들은 일반적으로, 탄소/실리콘-함유 저 k 재료를 경화시키는 방법들에 관한 것이다. 방법들은 일반적으로, 프로세싱 구역으로 증착 전구체를 전달하는 단계 ― 증착 전구체는 탄소/실리콘-함유 전구체를 포함함 ―, 산소 함유 전구체의 존재 시에, 원격 플라즈마를 형성하는 단계, 기판 상에 탄소/실리콘-함유 저 k 재료를 증착하기 위해, 증착 전구체로, 활성화된 산소 함유 전구체를 전달하는 단계, 및 탄소 산화물 가스의 존재 시에, 탄소/실리콘-함유 저 k 재료를 경화시키는 단계를 포함한다. |
