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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS52135679(A)
申请公布日期
1977.11.12
申请号
JP19760052147
申请日期
1976.05.10
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
HORI KOUHEI
分类号
H01L21/027;H01L21/26
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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