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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS52135279(A) 申请公布日期 1977.11.12
申请号 JP19760051752 申请日期 1976.05.07
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 IIZUKA HISAKAZU
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;H01L27/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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