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发明名称 METHOD OF FORMING PATTERN
摘要
申请公布号 JPS52135067(A) 申请公布日期 1977.11.11
申请号 JP19760050772 申请日期 1976.05.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMASHITA MITSUO;KOBAYASHI KIMIO;TAKEDA YUUKICHI;MIYAGAWA KIYOTAKA
分类号 H05K3/06;C23F1/00 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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