具有背压控制装置的液体分配涂布器及相关方法

摘要

本发明涉及具有背压控制装置的液体分配涂布器及相关方法。一种将液态材料分配到基板上的涂布器，包括本体、具有阀杆的阀模块以及设置在本体中并具有装置通道的背压控制装置。本体包括入口通道、分配出口通道以及再循环出口通道。阀模块具有分配模式和再循环模式，并且在分配模式下将液态材料导引通过分配出口通道，且在再循环模式下将液态材料导引通过再循环出口通道。阀杆能够在分配模式下的打开位置与再循环模式下的关闭位置之间移动。在再循环模式下，背压控制装置将液态材料导引穿过装置通道，使得在再循环模式下的液态材料的背压基本上等于在分配模式下的液态材料的背压。

主权项

一种用于将液态材料分配到基板上的涂布器，所述涂布器包括：本体，所述本体包括：入口通道，所述入口通道用于接纳液态材料，分配出口通道，所述分配出口通道用于将所述液态材料引向所述基板，以及再循环出口通道，所述再循环出口通道用于使所述液态材料再循环；阀模块，所述阀模块具有分配模式和再循环模式，其中，所述阀模块在所述分配模式中所述液态材料导引通过所述分配通道，而在所述再循环模式中将所述液态材料导引通过所述再循环出口通道，且所述阀模块包括阀杆，所述阀杆能够在打开位置和关闭位置之间移动，在所述打开位置中，所述阀模块以所述分配模式操作，在所述关闭位置中，所述模块以所述再循环模式操作；背压控制装置，所述背压控制装置被设置在所述本体中并具有装置通道，所述装置通道与所述再循环出口通道连通，其中，当所述阀模块处于所述再循环模式时，所述背压控制装置将所述液态材料导引通过所述装置通道，使得在所述再循环模式下所述液态材料所经受的背压基本上等于在所述分配模式下所述液态材料所经受的背压。