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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5249655(Y2)
申请公布日期
1977.11.11
申请号
JP19730058967U
申请日期
1973.05.19
申请人
发明人
分类号
H01L29/84;H01L21/283;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/84
主分类号
H01L29/84
代理机构
代理人
主权项
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