发明名称
摘要
申请公布号 JPS5249653(Y2) 申请公布日期 1977.11.11
申请号 JP19730003999U 申请日期 1972.12.29
申请人 发明人
分类号 G01D5/18;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01D5/18
代理机构 代理人
主权项
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