| 发明名称 |
STEUERMECHANISMUS FUER DIE POSITIONIERUNG EINES OBJEKTES, INSBESONDERE ZUR FEINPOSITIONIERUNG VON SUBSTRATSCHEIBEN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE2708548(A1) |
申请公布日期 |
1977.11.10 |
| 申请号 |
DE19772708548 |
申请日期 |
1977.02.28 |
| 申请人 |
JENOPTIK JENA GMBH |
发明人 |
HARTUNG,STEPHAN;JAKSCH,ERHARD |
| 分类号 |
H01L21/30;B23Q1/36;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/68;H05K13/04 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
