发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52134376(A) 申请公布日期 1977.11.10
申请号 JP19760051736 申请日期 1976.05.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 WATARI SHIGERU
分类号 H01L21/314;H01L21/31 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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