发明名称 CRYSTAL EVALUCATION METHOD
摘要 PURPOSE:To determine the goodness or badness of crystal by diffracting X-rays of 2.7 thru 6.5Angstrom with a thin film crystal of 1mu or under and a single crystal wafer of about 350mu, and measuring the diffraction intensity, waveform, etc. of their images.
申请公布号 JPS52133753(A) 申请公布日期 1977.11.09
申请号 JP19760049953 申请日期 1976.05.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 KISHINO SEIGOU;AOKI SHIGERU;ISOMAE SEIICHI;MAKI MICHIYOSHI
分类号 G01N23/207;G01N23/20;H01L21/66 主分类号 G01N23/207
代理机构 代理人
主权项
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